熱門搜索：
代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
產(chǎn)品中心
-
CEDAR思達(dá)
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協(xié)和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽電機(jī)
- SSD西西蒂
- EMIC 愛美克
- TOFCO東富科
-
打印機(jī)
- HORIBA崛場
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機(jī)
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機(jī)
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計(jì)
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計(jì)器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學(xué)
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
-
氙氣閃光燈
-
UV反轉(zhuǎn)曝光系統(tǒng)
-
UV的水處理
-
檢測(cè)系統(tǒng)
-
光照射裝置
-
點(diǎn)光源曝光
-
變壓型電源供應(yīng)器
-
超高壓短弧汞燈
-
UV光洗凈
-
UV曝光裝置
-
uv固化裝置
-
紫外可見光光度計(jì)
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
? 批量
常壓 CVD 設(shè)備，用于在大型托盤中裝載多個(gè)晶圓
氣相沉積設(shè)備
詳情介紹：
特點(diǎn)
這是一種批量式氣相沉積設(shè)備
常壓CVD裝置，在大型托盤中裝載多個(gè)晶圓，托盤在分散頭下往復(fù)沉積。
可對(duì)應(yīng)異形基板。
設(shè)備尺寸緊湊，占用空間小。
性能
| 薄膜厚度均勻性 | 取決于薄膜厚度和薄膜類型 | |||||||||||||||||
| 支持的晶圓尺寸 | 以可加熱區(qū)域?yàn)闇?zhǔn) | |||||||||||||||||
| 氣體種類 |
SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 (TEOS, TEB, TMOP, O3， TMA 可選） |
|||||||||||||||||
| 沉積溫度 | 350～450℃ (200～350℃) | |||||||||||||||||
| 生產(chǎn)力 | ― | |||||||||||||||||
主要規(guī)格
| 設(shè)備尺寸 | 1200mm(W) x 2480mm(D) x 1940mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機(jī)構(gòu) | 電阻加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 手動(dòng)方法 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
A63 頭 | |||||||||||||||||
南京代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501
常州代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501
昆山代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501
無錫代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501
產(chǎn)品留言
標(biāo)題
聯(lián)系人
聯(lián)系電話
內(nèi)容
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
