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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無(wú)塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛(ài)睦威地震儀、HOKUYO北陽(yáng)電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司江蘇代理OTSUKA大塚電子晶圓測(cè)厚系統(tǒng) GS-300實(shí)現(xiàn)嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對(duì)齊 GS-300滿足半導(dǎo)體工藝的高通量需求 GS-300支持凹口對(duì)齊功能
詳情介紹：
塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司江蘇代理OTSUKA大塚電子晶圓測(cè)厚系統(tǒng) GS-300實(shí)現(xiàn)嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對(duì)齊 GS-300滿足半導(dǎo)體工藝的高通量需求 GS-300支持凹口對(duì)齊功能
OTSUKA大塚電子GS-300產(chǎn)品信息
GS-300特征
- 支持集成到Φ300mm EFEM單元備用端口中
- 實(shí)現(xiàn)嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對(duì)齊
- 滿足半導(dǎo)體工藝的高通量需求
- 支持凹口對(duì)齊功能
- 占地面積小規(guī)格
GS-300測(cè)量示例
- TSV嵌入式圖案晶圓磨削后的硅厚度
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Φ300mm晶圓厚度
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